研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的主流应用要求。FEI Quanta FEG系列灵活、通用，足以应对当今人们广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品，得到所有数据”，在Quanta FEG上可得到表面像和成份像，并可辅以多种附件来确定材料的性质和元素组成。
一、 主要优点
二、 典型应用
1、纳米表征
1）金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料
2）陶瓷, 复合材料, 塑料
3）薄膜/涂层地质样品断面, 矿物
4）软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材
5）颗粒, 多孔材料, 纤维
2、原位过程分析
1）增湿/去湿
2）浸润行为/接触角分析
3）氧化/腐蚀
4）拉伸 (伴随加热或冷却)
5）结晶/相变
3、纳米原型制备
1）电子束曝光 (EBL)
2）电子束诱导沉积(EBID)
三、主要参数
1、电子光学
1）高分辨肖特基场发射电子枪
2）优化的高亮度、大束流镜筒
3）45°锥度物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统，加热式物镜光阑
4）加速电压: 200 V - 30 kV
5）束流: 最大200 nA并连续可调
6）放大倍数: 6 x 1,000,000 x (四幅图像显示)
2、分辨率
1）高真空
30 kV下0.8 nm (STEM)*
30 kV下1.0 nm (SE)
30 kV下2.5 nm (BSE)*
1 kV下3.0 nm (SE)
2）高真空下减速模式*
1 kV下3.0 nm (BSE)*
1 kV下2.3 nm (ICD)*
200 V下3.1 nm (ICD)*
3）低真空
30 kV下1.4 nm (SE)
30 kV下 2.5 nm (BSE)
3 kV下3.0 nm (SE)
4）环境真空 (ESEM)
30 kV下1.4 nm (SE)
3、检测器
1）E-T二次电子探头
2）大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)
3）气体二次电子探头 (GSED)
4）样品室红外CCD相机
5）高灵敏度、低电压固体背散射探头*
6）气体背散射探头*
7）四分固体背散射探头*
8）闪烁体型背散射探头/CLD*
9）vCD (低电压、高衬度探头)*
10）镜筒内探头(ICD)，用于减速模式下二次电子检测*
11）电子束流检测器*
12）分析型气体背散射探头 (GAD)*
13）STEM探头*
14）Nav-Cam 光学相机彩色成像，用于样品导航*
15）阴极荧光探测器*
16）能谱*
17）波谱*
18）EBSD*
19）极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)*
4、真空系统
1）1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵
2）ZL的“穿过透镜”的压差真空系统
3）电子束在气体区域的行程：10 mm或2 mm
4）可升级成无油机械泵
5）2个离子泵
6）样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
7）样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa
8）样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa
9）典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒；低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)
5、样品室
1）左右内径284 mm
2）10 mm分析工作距离
3）8个探测器 / 附件接口
4）EDS采集角: 35°
6、样品台
1）X/Y = 100 mm
2）Z = 60 mm
3）Z向间隙75mm
4）倾斜：- 5° - + 70°
5）连续旋转360°
6）重复精度: 2 μm (X/Y方向)
7）伪全对中样品台
7、样品座
1）多样品座
2）单样品座
3）通用样品座套件*
4）适用于硅片或其它特殊要求的样品座*
8、图像处理器
1）最大6144 x 4096像素
2）图像文件格式：TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG
3）单窗口或四窗口图像显示
4）四活动窗口
5）实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
6）256 帧平均或积分
7）数字动画记录 (.avi格式)
8）直方图及图像测量软件
9）DCFI (漂移补偿积分)
9、支持软件
1）SmartSCAN 智能扫描技术
2）蒙太奇图像导航
3）软件温度控制
4）FEI动画生成工具