基本规格
倍率
15 至 100000 倍 *6
观察范围
9 (H) × 7 (V) mm 至 1.3 (H) × 1 (V) µm
辨识能力
30 nm
观察图像
两次电子图像·反射电子图像 *7
观察模式
高真空·低真空 (3-260 Pa) *8
显示范围
观察时
640 (H) × 480 (V)
摄影时
1280 (H) × 960 (V)
帧频
4.5 F/S (观察时)
图像保存形式
2D图像
TIFF·JPG
3D图像
TIFF/JPG/EXE(附带再生功能)/AVI(动画)
加速电压
0.5 至 20 kV
电子束
电子束 钨丝夹·牵引盒式
zui大测试材料尺寸
ø64 mm
测试材料载物台
5 轴 (X·Y·Z·旋转·倾斜) 优先选择式 (XY 轴电动)
X : 32 mm·Y : 32 mm·Z : 8 至 30 mm·旋转 : 360°·倾斜 : -10 至 +90°
试料室内确认功能
材料室内状况确认功能 视口·彩色摄像机 *9
控制部
工件站 OS：Windows XP Professional SP2*10
电源
电源电压
AC 100 V ±10% 50/60 Hz
额定电压
1500 VA 以下
环境适应性
使用周围湿度
+15 至 +30°C
70% 以下 (不能结露)
外形尺寸
本体
宽 395 × 高 957 × 长 650 mm
外部泵
宽 500 × 高 365 × 长 170 mm
质量
本体
约 120 kg
外部泵
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